DK SPUTTERING OBOT

Prevlačenje magnetrona

Drugi oblik tehnologije PVD premaza.

Plazma prevlaka

Prost magnetrona je postupak premaza u plazmi, pri čemu se materijal za raspršivanje izbacuje zbog bombardiranja iona na ciljnu površinu. Vakuumska komora stroja PVD premaza ispunjena je inertnim plinom, poput Argona. Primjenom visokog napona stvara se sjajni pražnjenje, što rezultira ubrzanjem iona na ciljnu površinu i plazma premazom. Argon-ioni će izbaciti prskanje materijala s ciljne površine (raspršivanje), što će rezultirati raspršenim slojem premaza na proizvodima ispred cilja.

Reaktivno raspršivanje

Često se koristi dodatni plin poput dušika ili acetilena, koji će reagirati s izbačenim materijalom (reaktivno raspršivanje). Širok raspon raspršenih premaza postignut je s ovom tehnikom PVD premaza. Tehnologija prskanja magnetrona vrlo je korisna za ukrasne premaze (npr. Ti, CR, ZR i ugljični nitridi), zbog njegove glatke prirode. Ista prednost čini da se magnetron raspršuje široko korišten za tribološko prevlačenje na automobilskim tržištima (npr. CRN, CR2N i razne kombinacije s DLC premazom - dijamant poput ugljikovog premaza).

Magnetska polja

Propranje magnetrona pomalo se razlikuje od opće tehnologije raspršivanja. Razlika je u tome što tehnologija prskanja magnetrona koristi magnetska polja kako bi plazma držala ispred cilja, pojačavajući bombardiranje iona. Izuzetno gusta plazma rezultat je ove tehnologije PVD premaza.

Karakter tehnologije prskanja magnetrona:

• Cilj hlađen od vode, tako se stvara malo zračenja
• Gotovo svaki metalni ciljni materijal može se raspršiti bez raspadanja
• Neprovodni materijali mogu se raspršiti pomoću radiofrekvencije (RF)

ili srednja frekvencija (MF) snaga

• Oksidni premazi se mogu raspršiti (reaktivno raspršivanje)
• Izvrsna ujednačenost sloja
• Vrlo glatke raspršene prevlake (bez kapljica)
• Katode (dugačke do 2 metra) mogu se staviti u bilo koji položaj, pa se velika fleksibilnost dizajna opreme za raspršivanje

Nedostatak tehnologije prskanja magnetrona.