Što je tanko taloženje filma termičkim isparavanjem?

Jedna od uobičajenih metoda fizičkog taloženja pare (PVD) je toplinsko isparavanje. Ovo je oblik tankog taloženja filma, što je vakuum tehnologija za nanošenje premaza Dobavljači strojeva za vakuum za isparavanje čistih materijala na površinu različitih predmeta. Prevlake, koji se nazivaju i filmovi, obično su u rasponu debljine angstroma do mikrona i mogu biti jedan materijal ili mogu biti više materijala u slojevitoj strukturi.
Materijali koji se primjenjuju tehnikama termičkog isparavanja mogu biti čisti atomski elementi, uključujući metale i ne metale, ili mogu biti molekule poput oksida i nitrida. Objekt koji treba biti presvučen naziva se supstratom i može biti bilo koja od širokog spektra poput: poluvodičkih rezina, solarnih ćelija, optičkih komponenti ili mnogih drugih mogućnosti.

Toplinsko isparavanje uključuje zagrijavanje čvrstog materijala unutar visokog vakuumskog komore, uzimajući ga na temperaturu koja stvara neki tlak pare. Unutar vakuuma, čak je i relativno nizak tlak pare dovoljan za podizanje oblaka pare unutar komore. Ovaj ispareni materijal sada čini tok pare, koji prolazi komorom i udara u podlogu, držeći se za njega kao premaz ili film.
Budući da se, u slučajevima procesa toplinskog isparavanja, materijal zagrijava do svoje tališta i tekućina, obično se nalazi na dnu komore, često u nekakvom uspravnom loncu. Para se zatim uzdiže iznad ovog donjeg izvora, a supstrati se drže obrnute u odgovarajućim učvršćenjima na vrhu komore. Površine namijenjene premazani prema dolje su okrenute prema zagrijanom izvoru materijala kako bi primili svoj premaz.
Koraci