Koji je princip rada vakuumskog stroja？

U polju premaza, debljina uzorka filma nakon premaza važan je faktor koji utječe na izvedbu filma. Stoga, prilikom procjene izvedbe uzorka filma, potrebno je testirati izvedbu uzorka filma pod različitim debljinama. U slučaju vakuumskog premaza, to često zahtijeva više pripravaka uzoraka. Međutim, postoje dva problema u pripremi uzoraka za više puta: prvo, stanje instrumenta je različito za uzorke uzgojene u različitim vremenima, tako da faktor koji utječe na izvedbu uzorka filma možda nije samo debljina; Drugo, uzorak se mora ponovo usisati u eksperimentu vakuumskog premaza. Dobivanje je vrlo dugotrajno. Povećati troškove proizvodnje i testiranja.

Stoga je predviđen multifunkcionalni sustav za raspršivanje magnetrona. Ovaj je sustav integriran pomoću sustava vakuumskog premaza i sustavom kutija za rukavice. Može dovršiti isparavanje tankog filma u komori za isparavanje visokog vakuuma i ima inertni plin visoke čistoće u kutiji za rukavice. Skladištenje i priprema uzoraka i otkrivanje uzoraka nakon isparavanja provode se u atmosferi. Kombinacija kutije za isparavanje i rukavice realizira potpuno zatvorenu proizvodnju isparavanja, inkapsulacije, testiranja i drugih procesa, tako da je cjelokupni postupak rasta i pripreme uređaja visoko integriran u kompletno upravljačko okruženje atmosfere, eliminirajući organski krug s velikim dijelovima u atmosfernom faktoru i jamče u pripremnom okruženju, jamče se u pripravnosti u atmosfernom okruženju, velikim faktorima u atmosfernom okolišu, velikom protiku, atmosfernim okoliše krugovi.

Glavna svrha multifunkcionalnog sustava magnetrona za raspršivanje: Koristi se za pripremu različitih metalnih filmova, poluvodičkih filmova, dielektričnih filmova, magnetronskih filmova, optičkih filmova, superprevoznih filmova, senzorskih filmova i različitih posebnih funkcionalnih filmova.