Što je zajedničko-eksputiranje i ko-evaporacija?

Propter i toplinsko isparavanje dva su od uobičajenih fizičkih taloženja pare PVD Kineski PVD sustavi za prevlačenje Proizvođači Tehnike procesa tankog filma. Izvršene u visokom vakuumskom okruženju, ove su metode u središtu poluvodiča, optike, fotonike, medicinskog implantata, automatske i zračne industrije visokih performansi.

"Co" znači obostrano, uobičajeno - više od jednog. Sukosno i ko-evaporacija znači da se na supstrat primjenjuje više materijala koji se primjenjuje na supstrat koji omogućava stvaranje širokog raspona novih i izvanrednih kompozicija i legura s jedinstvenim i nevjerojatnim kvalitetama koje nisu moguće bez ove brzo širene tanke filmske tehnologije.
Koaliziranje je tamo gdje se prskaju dva ili više ciljanih (ili „izvora“) materijala, bilo odjednom ili u nizu u vakuumskoj komori, a često se koristi s reaktivnim prskanjem magnetrona za proizvodnju tankih filmova koji su kombinatorni poput metalnih legura ili ne-metalnih sastava poput keramike.

Naširoko se koristi u optičkoj i arhitektonskoj staklenoj industriji. Koristeći reaktivno ko-eksputiranje dva ciljna materijala kao što su silicij i titanij s dvostrukim prskanjem magnetrona, indeks loma ili efekt sjenčanja stakla može se pažljivo i precizno kontrolirati na aplikacijama u rasponu od površina velikih razmjera, poput arhitektonskog stakla, do sunčanih naočala. Također se široko koristi proizvode solarne ploče i zaslone. Aplikacije za suzbijanje i dalje rastu svaki dan.

Ko-SUPTERING koristi više od jedne katode (obično dvije ili tri) u procesnoj komori gdje se snaga za svaku katodu može samostalno kontrolirati. To može značiti i da imaju više katoda istog ciljanog materijala koji istodobno djeluju kako bi povećali stope taloženja, ili također može značiti kombiniranje različitih vrsta materijala ciljeva u procesnoj komori za stvaranje jedinstvenih sastava i svojstava u tankim filmovima.

Silikonski ciljevi koji su prepuni u plazmu koja sadrži kisik jer reaktivni plin tvori SiO2 koji ima indeks loma od 1,5. Titanij je ispratio u plazmu s kisikom formira TiO2 s reflektirajućim indeksom 2,4. Konstituiranjem ova dva cirnata obloga i promjenom snage na svaki od ovih dvostrukih magnetrona, precizni indeks loma premaza može se prilagoditi i odlagati na staklo na bilo koji željeni indeks loma između 1,5 i 2,5.

Na taj je način reaktivno ko -kombiniranje omogućilo stvaranje tankih filmova na staklenim i drugim materijalima s prilagodljivim ili stupnjevanim indeksima refrakcije - uključujući čak i premaze koji mijenjaju reflektirajuće karakteristike arhitektonskog stakla kako sunce postaje jače ili slabije.
Kolaporacija je postupak toplinskog isparavanja koji može imati prednosti ili nedostatke u usporedbi s ko-kombiniranjem, ovisno o specifičnoj primjeni, što se najbolje razumije definiranjem temeljnih razlika između isparavanja i raspršivanja PVD procesa premaza.

Kod ko-evaporacije materijali za oblaganje zagrijavaju se u visokoj vakuumskoj komori dok ne počnu isparavati ili sublimirati. To se postiže izvornim materijalom koji se zagrijava i isparava ili iz košarice otpornika/žičane košarice ili iz lopatice pomoću elektronske zrake. Da bi se postigao visoki stupanj ujednačenosti s termički isparenim tankim filmovima, supstrat koji se premazi često se manipulira rotiranjem na jednoj ili dvije osi unutar komore taloženja.

Uobičajene primjene tankih filmova ko-evaporacije s metaliziranim premazima na plastici, staklu ili drugom materijalu supstrata koji pružaju visok stupanj neprozirnosti i reflektivnosti, ogledala teleskopa i solarnih panela.

Solarni paneli na temelju Cu (In, GA) SE2 (CIGS) postigli su najveću evidenciju rekorda među tankim filmskim solarnim ćelijama s rekordnom učinkovitošću od preko 20%. Ključ ovog uspjeha je trostupanjski postupak ko-elaporacije koji rezultira dubinskim dvostrukim gradijentom GA s povećanom koncentracijom GA s prednje i stražnjeg površina tankog taloženja filma. Ovo su vrsta stehiometrijskih učinkovitosti procesi koe-evaporacije u stvarnom svijetu čineći zeleniji, čistiji, energetski učinkovitiji svijet koji se brzo širi u budućnost.