Koji će čimbenici utjecati na performanse prevlačenja strojeva za vakuumski premaz?

Koji će čimbenici utjecati na izvedbu premaza stroj za vakuumsku oblogu ?

Ako stroj za vakuumski premaz želi premazati dobar film, mora osigurati da su mnogi čimbenici u normalnom stanju, poput vakuumskog premaza, udaljenosti od osnovnog cilja, temperature isparavanja, temperature supstrata, preostalih tlaka plina i drugih čimbenika. Postoji odstupanje u određenom faktoru. To će utjecati na performanse sloja premaza u vakuumskom stroja. Slijedi uređivač vakuuma koji će detaljno objasniti koji će čimbenici utjecati na performanse prevlačenja strojeva za vakuumski premaz. Nadam se da vam može pomoći:

1. stopa isparavanja

Veličina stope isparavanja ima veliki utjecaj na deponirani film. Budući da je struktura premaza formirana niskom stopom taloženja labava i lako je odlagati velike čestice, kako bi se osigurala kompaktnost konstrukcije premaza, vrlo je sigurno odabrati veću brzinu isparavanja. Kad je pritisak zaostalog plina u vakuumskoj komori konstantan, stopa bombardiranja bombardiranja supstrata je stalna vrijednost. Stoga će se, nakon odabira veće brzine taloženja, smanjiti zaostali plin sadržan u deponiranom filmu, smanjujući tako kemijsku reakciju između zaostalih molekula plina i čestica isparenog filmskog materijala. Stoga se čistoća deponiranog filma može poboljšati. Treba napomenuti da ako je stopa taloženja previsoka, može povećati unutarnji stres filma, što rezultira povećanjem oštećenja u filmskom sloju, pa čak i pucanjem filmskog sloja u teškim slučajevima. Konkretno, u procesu reaktivnog isparavanja može se odabrati niža brzina taloženja kako bi se reakcijski plin i isparene čestice materijala za isparavanje dovoljno reagirale. Naravno, za različito isparavanje materijala treba koristiti različite stope isparavanja. Kao praktičan primjer kako niska stopa taloženja može utjecati na izvedbu filma, taloženje reflektivnog filma. Na primjer, kada je debljina filma 600x10-8cm, a vrijeme isparavanja 3S, reflektivnost je 93%. Međutim, ako se brzina isparavanja uspori pod istom debljinom filma, potrebno je 10 minuta da se dovrši taloženje filma. U ovom je trenutku debljina filma ista. Međutim, reflektivnost je pala na 68%.

2. Temperatura supstrata

Temperatura supstrata također ima veliki utjecaj na isparavni premaz. Molekule zaostalog plina adsorbirane na površini supstrata pri visokim temperaturama supstrata lako se uklanjaju. Konkretno, važnije je isključenje molekula vodene pare. Nadalje, nije samo lako promovirati prijelaz s fizičke adsorpcije na kemijsku adsorpciju na višoj temperaturi, povećavajući na taj način silu vezanja između čestica. Nadalje, razlika između temperature rekristalizacije molekula pare i temperature supstrata može se smanjiti, čime se smanji ili eliminirajući unutarnji stres na sučelju filmskog supstrata. Pored toga, budući da je temperatura supstrata povezana s kristalnim stanjem filma, amorfni ili mikrokristalni premazi obično se lako formiraju u niskim ili nikakvim uvjetima grijanja na supstratu. Suprotno tome, kada je temperatura veća, lako je stvoriti kristalni premaz. Povećanje temperature supstrata također je korisno za poboljšanje mehaničkih svojstava premaza. Naravno, temperatura supstrata ne bi trebala biti previsoka da bi se spriječilo ponovnu evaporaciju isparenog premaza.

3. Utjecaj preostalog tlaka plina u vakuumskoj komori na izvedbu filma

Pritisak zaostalog plina u vakuumskoj komori ima veliki utjecaj na performanse membrane. Ako je tlak previsok, zaostale molekule plina nisu se lako sukobljale samo s isparenim česticama, tako da se smanjuje kinetička energija ljudi koji pucaju na supstrat, što utječe na adheziju filma. Nadalje, pretjerani preostali tlak plina ozbiljno će utjecati na čistoću membrane i smanjiti performanse premaza.

4. Učinak temperature isparavanja na prevlačenje isparavanja

Učinak temperature isparavanja na izvedbu filma prikazan je brzinom isparavanja kao funkcija temperature. Kad je temperatura isparavanja visoka, toplina isparavanja smanjit će se. Ako se filmski materijal ispari iznad temperature isparavanja, čak i mala promjena temperature može uzrokovati brzu promjenu brzine isparavanja filmskog materijala. Stoga je vrlo važno precizno kontrolirati temperaturu isparavanja tijekom taloženja filma kako biste izbjegli veliki gradijent temperature kada se izvor isparavanja zagrijava. Za filmski materijal koji je lako uzgajati, sam filmski materijal odabran je kao grijač, a mjere poput isparavanja također su vrlo važne. .

Gornja četiri aspekta su uobičajeni čimbenici koji utječu na performanse sloja prevlake strojeva za vakuumski premaz, a oni su ujedno i konvencionalni utjecajni faktori. Tijekom postupka prevlačenja strojeva za vakuumsko premaz, potrebno je osigurati da su ti faktori u normalnom stanju.