Koji je princip rada katodne lučne ionske obloge?

Prije svega, igla za udaranje luka (anoda) s pozitivnim potencijalom blizu je cilja (katoda) s negativnim potencijalom. Kad je udaljenost između anode i katode dovoljno mala, plin između dviju elektroda bit će razgrađen, tvoreći lučnu struju, koja je slična luku u udaru električnog zavarivanja. U ovom trenutku, dio N2 je ioniziran tako da tvori dušični kationi i elektroni.

Privučen silom električnog polja, dušik će letjeti na katodu u blizini cilja, a elektron će letjeti u iglu za paljenje luka. Međutim, masa iona daleko je veća od one u elektronu. Stoga će, pod istom silom električnog polja, udaljenost kretanja elektrona biti veća od one u kationu. Stoga, kada elektron dosegne anodu, ion neće doći do cilja katode, već će letjeti u iglu za paljenje luka, sloj akumulacije pozitivnog iona formiran je u blizini ciljane površine.

Udaljenost između kationa i ciljane površine katode vrlo je mala, do razine mikrona. Prema E = U / D, može se vidjeti da je električno polje u prostoru u ovom trenutku visoko, što će "izvući" elektrone iz cilja. "Povučeni" elektroni lete iz cilja katode u sloj akumulacije pozitivnog iona, tvoreći struju. Sloj slaganja povezan je s ciljanom površinom, a luk se generira u blizini ciljane površine.

Istodobno, pozitivne ione će privući ciljanu površinu katode, zbog čega pozitivni ioni bombardiraju ciljanu površinu i proizvode raspršivanje. Budući da čestice filma ili ispare ili raspršene trebaju proći kroz sloj akumulacije pozitivnog iona, a u procesu letenja s ciljane površine katode, na čestice filma utjecati će luk na ciljnoj površini, tako da su čestice koje dolaze na radni dio ionsko stanje.

Napon negativnog pristranosti obično se primjenjuje na radni komad, tako da pozitivni ioni lete do obraznog dijela pod djelovanjem električne polje i bombardiraju obrađeni komad Proizvođači strojeva za oblaganje DLC . Ovo bombardiranje poboljšat će prianjanje filma i učiniti trenje gustim, što je vrlo korisno za poboljšanje kvalitete filma.

Ako želite znati više, možete nas kontaktirati.

Ningbo Danko Vacuum Technology CO., Ltd.

Sara

Telefon: 86-15867869979

E -pošta: [email protected]

WeChat: 15867869979

WhatsApp: 86-1586786979