Kako funkcionira magnetron za raspršivanje vakuumskog stroja- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Kako funkcionira magnetron za raspršivanje vakuumskog stroja

Prskanje magnetrona popularna je tehnika vakuumskog premaza koja se koristi za stvaranje funkcionalnih i ukrasnih filmova za širok raspon primjena. Tehnika se široko koristi u elektroničkoj industriji, na primjer, u proizvodnji elektroničkih komponenti kao što su mikroprocesori, memorijski čips, mikrokontroleri i tranzistori.

Proces raspršivanja uključuje bombardiranje ciljanog materijala visokonaponskim DC-om ili pulsiranim DC, RF ili AC snage. Proces također zahtijeva komoru visokog vakuuma i crpke kako bi okoliš održao što čistiju.

Prije nego što postupak raspršivanja može započeti, komora se mora napuniti odgovarajućim plinom za postupak. Ovaj plin je općenito argon, ali mogu se koristiti i drugi plinovi poput kisika. Ispravna vrsta plina ovisi o određenim materijalima koji se deponiraju i koja su svojstva potrebna za oblaganje za obavljanje njegove namjeravane funkcije.

Ovisno o procesu koji tražite, elektroenergetski će sustav varirati, ali svi imaju isti princip jezgre: visokonaponski istosmjerni ili pulsirani istosmjerni snagu teče kroz katodu u kojoj sjede pištolj i ciljni materijal. Ova snaga mora se povećati iz nižeg napona prije nego što u potpunosti pokrene postupak taloženja.

Sama katoda montirana je iznad supstrata i može biti okrugla ili pravokutnog oblika kako bi odgovarala vašim zahtjevima za prijavu. Okrugla konfiguracija najbolja je za sustave s jednim supstratom, dok je pravokutna katoda idealna za linijske sustave.

Kad je postupak raspršivanja završen, vrijeme je da se supstrat učita u glavnu dispozicijsku komoru i pripremite ga za taloženje. To se obično radi tako što ga pričvrstite na držač supstrata koji drži supstrat i osigurava ga unutar komore. Držač također može imati mogućnost učitavanja supstrata u i izlazak bez ugrožavanja razine vakuuma.

U mnogim sustavima prskanja magnetrona, supstrat se pušta u komoru taloženja kroz vrata, omogućujući mu da se kreće i izlazi iz komore za zaključavanje opterećenja bez ugrožavanja vakuumskog okruženja. To sprječava oštećenje supstrata ili materijala i omogućava brzu promjenu materijala za taloženje.

Jednom kada se supstrat učita, postavlja se unutar glavne komore za taloženje gdje će se nalaziti pištolj za prskanje s željenim materijalom za oblaganje i pištolj za prskanje za plin koji se ubacuje u komoru. Jednom kada je plin na mjestu, snažno magnetsko polje iza ciljanog materijala stvara uvjete za raspršivanje.

Tijekom procesa raspršivanja, visokoenergetski nabijeni ioni izbacuju iz ciljnog materijala na supstrat. Ovi ioni imaju visoku gustoću iona, što ih čini relativno stabilnim u atmosferi prskanja i stvara visoku stopu taloženja. Ionska morfologija materijala raspršenog na površini ovisit će o nekoliko čimbenika, uključujući kut polarizacije iona i energiju površinskog vezanja iona.

Na gustoću iona prskanja i brzina raspršivanja metalnih atoma također će utjecati pritisak na koji se stvara plazma, tj. Tlak MTORR-a, koji se može kretati od 10-3 do nekih 10-2. Brzina prskanja materijala kao što su izolatori i vođenje materijala smat će se zbog nižih potencijala ionizacije ionizacije ovih materijala.

Magnetron stroj za raspršivanje

Prevlaci s više lutki i za prskanje mogu se odlagati u širokom rasponu boja. Zavijanje boja može se dodatno poboljšati uvođenjem reaktivnih plinova u komoru tijekom postupka taloženja. Široko korišteni reaktivni plinovi za ukrasne prevlake su dušik, kisik, argon ili acetilen. Dekorativni premazi proizvode se u određenom rasponu boja, ovisno o omjeru metala i plina u oblozi i strukturi premaza. Oba ova faktora mogu se izmijeniti promjenom parametara taloženja.

Prije taloženja dijelovi se čiste tako da površina nema prašine ili kemijskih nečistoća. Nakon što je postupak prevlačenja započeo, svi relevantni parametri procesa kontinuirano se nadgledaju i kontroliraju automatskim sustavom računalnog upravljanja.

• Materijal supstrata: staklo, metal (ugljični čelik, nehrđajući čelik, mesing), keramika, plastika, nakit.

• Vrsta strukture: okomita struktura, #304 nehrđajući čelik.

• Prevladavajući film: multifunkcionalni metalni film, kompozitni film, transparentni vodljivi film, film koji povećava refleksiju, elektromagnetski oklopni film, ukrasni film.

• Boja filma: multi boje, crna pištolja, zlatna boja od titana, zlatna boja ruža, boja od nehrđajućeg čelika, ljubičasta boja, tamno crna, tamnoplava i druga više boja.

• Vrsta filma: TIN, CRN, ZRN, TICN, TICRN, TINC, TIALN i DLC.

• Potrošni materijal u proizvodnji: Titanij, krom, cirkonij, željezo, legura; Cilj ravnine, cilindrični cilj, TWIN Target, suprotni cilj.

Udio: