Uobičajena vakuum terminologija5

1. Difuzija plina: Pomiče se plinom u drugom mediju zbog gradijenta koncentracije. Medij može biti još jedan plin (difuzija se u ovom slučaju naziva interdifuzijom) ili kondenzatna tvar.
2.D koeficijent difuzije; Difuzivnost: Dobiva se omjer apsolutne brzine protoka mase po jedinici površine normalnog gradijenta koncentracije po jedinici površine. Kineski PVD dobavljači strojeva za oblaganje
3.Viskozni protok: Prosječni slobodni put molekule plina mnogo je manji od minimalne veličine poprečnog presjeka kanala. Stoga protok ovisi o viskoznosti plina, koja može biti laminarna ili stagnirana.
4. Viskozni faktor: Omjer tangencijalne sile i gradijenta brzine po jedinici površine u smjeru gradijenta brzine protoka zraka.
5.sorpcija: hvatanje plina ili pare (adsorbat) krutom ili tekućinom (adsorbent) .

Udio: