Uobičajene metode otkrivanja propuštanja vakuuma

Otkrivanje propuštanja helijskom masenom spektrometrijom

Ova je tehnologija neophodna tehnologija na području otkrivanja vakuumskog propuštanja. Široko se koristi u otkrivanju curenja zbog njegove visoke učinkovitosti otkrivanja propuštanja, jednostavnog rada, osjetljivog odziva instrumenta, velike preciznosti, a ne Kineski PVD Dobavljači sustava za oblaganje lako ih ometaju drugi plinovi. Detektor propuštanja masenog masenog spektrometra vrsta je instrumenta za otkrivanje plinova na temelju principa masene spektrometrije, koji koristi helij kao plin za indikator curenja. Sastoji se od izvora iona, analizatora, kolektora, mjera ionizacije hladne katode, komore masene spektrometrije, ispušnog sustava i električnog dijela. Elektroni koji se emitiraju iz filamenta u komori masene spektrometrije osciliraju naprijed -nazad u sobi i sudaraju se s unutarnjim plinom i helijem koji ulaze u sobu kroz propusnu rupu kako bi se ionizirali u pozitivne ione. Ovi helijski ioni ulaze u magnetsko polje ispod lijevog i desnog mozga ubrzanog električnog polja i odbijaju zbog djelovanja Lorentzove sile, tvoreći kružni lučni orbita i mijenjajući ubrzano električno polje. Tlak omogućuje otkrivanje iona različite mase dostižući prijemni stup kroz magnetska polja i prijemne utora. Metoda ubrizgavanja helija i metoda apsorpcije helija dvije su najčešće korištene metode u otkrivanju propuštanja helijskog masenog spektrometra.