Primjena prskanja magnetrona- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Primjena prskanja magnetrona

Spajanje magnetrona učinkovita je metoda za taloženje niskih temperatura u PVD tehnologiji. Tijekom raspršivanja magnetrona, elektroni se apsorbiraju tamnim poklopcem polja ili posebno pričvršćenom anodom, a temperatura dobivenog supstrata je niža od one u tradicionalnom raspršivanju. Ostali temperaturno osjetljivi materijali deponiraju se kao supstrati. Godine 1998. Teel Coating Ltd. predložio je tehnologiju odlaganja visokokvalitetnih kositra i TICN prevlaka magnetronom prskanjem na niskoj temperaturi, a temperatura supstrata mogla bi se spustiti na manje od 70 ° C, proširivši mogući raspon primjene sličnih premaza. Posljednjih godina, Sveučilište Loughborough u Velikoj Britaniji uspješno je smanjilo temperaturu supstrata tijekom prskanja magnetrona s 350 na 500 ° C na oko 150 ° C na sobnoj temperaturi, te uspješno nanijelo kositar i CRN premazi na površine umjetnih kalupa za zube i prestrašuju površinu zavarivanja u kontaktu s 5 do 10 puta. Može se vidjeti da je istraživanje o metodama i procesima taloženja niske temperature vrlo značajno i obećavajuće.