Analiza uobičajene tehnologije za isparavanje- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Analiza uobičajene tehnologije za isparavanje

1. Isparavanje otpornosti: Izvor isparavanja otpornosti koristi se za isparavanje materijala niske tališta, poput zlata, srebra, cinkovog sulfida, magnezij fluorida, kromijskih trioksida, itd. Izvori isparavanja otpornosti uglavnom se izrađuju od volframa, molibdenuma i tantaluma.

2. Elektronska greda isparavanje : Nakon što se filmski materijal ispari i ispari grijanjem elektronske zrake, on se kondenzira na površini supstrata kako bi formirao film, što je važna metoda grijanja u tehnologiji isparavanja vakuuma.

Postoji mnogo vrsta takvih uređaja. Uz široku primjenu tehnologije tankog filma, ne samo zahtjevi za vrste membrana su različiti, već su i zahtjevi za kvalitetu membrana strožiji.

Isparavanje otpora više ne može zadovoljiti potrebe isparavanja nekih metala i ne-metala. Izvor topline elektronske zrake može dobiti mnogo veću gustoću energije od izvora topline otpora, a vrijednost može doseći 104-109W/cm2, tako da se film može zagrijati na 3000-6000C.

To pruža bolji izvor topline za isparavanje vatrostalnih metala i nemetalnih materijala poput volframa, molibdena, germanija, siO2, AI2O3, itd. Štoviše, budući da se materijal za isparavanje postavlja u vodenu obojenu loncu, isparavanje kontejnerskog materijala i reakcije na kontejneru.

Pored toga, toplina se može izravno dodati na površinu filmskog materijala, tako da je toplinska učinkovitost velika, a gubici toplinske provodljivosti i toplinskog zračenja su mali.

3. ARC Isparanje za zagrijavanje: Metoda grijanja slična metodi grijanja elektronske zrake je metoda grijanja lučnog pražnjenja. Također ima karakteristike izbjegavanja kontaminacije materijala za zagrijavanje otpornosti ili materijala za lonce, a ima karakteristike visoke temperature grijanja, posebno pogodne za isparavanje vatrostalnih metala, grafita itd. S visokom točkom taljenja i određenom vodljivošću.

Istodobno, oprema koja se koristi u ovoj metodi jednostavnija je od opreme za grijanje elektronskih snopa, tako da je relativno jeftin uređaj za isparavanje.

4. Obrijavanje laserskog snopa: Metoda korištenja lasera velike gustoće snage za isparavanje materijala za stvaranje tankih filmova obično se naziva lasersko isparavanje

5. Visokofrekventno indukcijsko zagrijavanje Isparavanje: Upotrijebite princip indukcijskog grijanja za zagrijavanje metala na temperaturu isparavanja.

Crucible koji sadrži filmski materijal postavljen je u sredinu spiralne zavojnice, a kroz zavojnicu prolazi visokofrekventna struja, tako da metalni filmski materijal može stvoriti struju da se zagrije dok ne ispari.

Značajke izvora isparavanja indukcijskog grijanja:

1. visoka stopa isparavanja

2. Temperatura izvora isparavanja je ujednačena i stabilna, a nije lako proizvesti fenomen prskanja aluminijskog pada

3. Izvor isparavanja naplaćuje se u jednom trenutku, nije potreban mehanizam za hranjenje žice, kontrola temperature je relativno jednostavna, a rad je jednostavan

4. Zahtjevi za čistoću membranskog materijala malo su širi.

Termičko isparavanje stroj za vakuumski prevlačenje